Jak działa wzrost epitaksjalny?

Spisu treści:

Jak działa wzrost epitaksjalny?
Jak działa wzrost epitaksjalny?

Wideo: Jak działa wzrost epitaksjalny?

Wideo: Jak działa wzrost epitaksjalny?
Wideo: Epitaxy 2024, Marsz
Anonim

Epitaksja, proces wyrastania kryształu o określonej orientacji na wierzchu innego kryształu, gdzie orientacja jest określona przez leżący poniżej kryształ. Tworzenie różnych warstw w płytkach półprzewodnikowych, takich jak te stosowane w układach scalonych, jest typowym zastosowaniem tego procesu.

Jak osiąga się wzrost epitaksjalny?

Metody. Krzem epitaksjalny jest zwykle hodowany przy użyciu epitaksji z fazy gazowej (VPE), modyfikacji chemicznego osadzania z fazy gazowej. Wykorzystywana jest również epitaksja z wiązki molekularnej i fazy ciekłej (MBE i LPE), głównie w przypadku półprzewodników złożonych. Epitaksja w fazie stałej jest stosowana przede wszystkim do leczenia uszkodzeń kryształów.

Który gaz jest używany do wzrostu epitaksjalnego?

Podczas epitaksjalnego cyklu wzrostu, wstępnie oczyszczone wafle GaAs są ładowane do pionowej komory reaktora kwarcowego zawierającej górny zbiornik płynu elementarnego gal , przez który odmierzany jest bezwodny gazowy HCl, tworząc GaCl3.

Jakie jest zastosowanie warstwy epitaksjalnej?

urządzenia fotoniczne

Dla wydajnej emisji lub wykrywania fotonów często konieczne jest ograniczenie tych procesów do bardzo cienkich warstw półprzewodników. Te cienkie warstwy, wyhodowane na dużych waflach półprzewodnikowych, nazywane są warstwami epitaksjalnymi, ponieważ ich krystaliczność odpowiada krystaliczności podłoża, mimo że…

Jakie są kluczowe parametry, które należy kontrolować podczas wzrostu epitaksjalnego?

Proces wzrostu obejmuje optymalizację głównych parametrów, tj. temperatury, ciśnienia i przepływu gazu, w celu uzyskania pełnej kontroli selektywności (tj. zarodkowania polikrzemu na powierzchni pola), ściany bocznej faceting, generowanie defektów i autodoping.

Zalecana: